Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 69 van 93 gevonden artikelen
 
 
  Plasma resistant aluminum oxide coatings for semiconductor processing apparatus by atmospheric aerosol spray method
 
 
Titel: Plasma resistant aluminum oxide coatings for semiconductor processing apparatus by atmospheric aerosol spray method
Auteur: Choi, Hoomi
Kim, Kwangsu
Choi, Heesung
Kang, Sangwoo
Yun, Juyoung
Shin, Yonghyeon
Kim, Taesung
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 205 (2010) nr. S1 pagina's 4 p.
Jaar: 2010
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 69 van 93 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland