Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 35 van 213 gevonden artikelen
 
 
  Deposition of silicon carbon nitride thin films by microwave ECR plasma enhanced unbalance magnetron sputtering
 
 
Titel: Deposition of silicon carbon nitride thin films by microwave ECR plasma enhanced unbalance magnetron sputtering
Auteur: Gao, Peng
Xu, Jun
Piao, Yong
Ding, Wanyu
Wang, Dehe
Deng, Xinlu
Dong, Chuang
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 201 (2007) nr. 9-11 pagina's 4 p.
Jaar: 2007
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 35 van 213 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland