Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 15 van 122 gevonden artikelen
 
 
  Characterization and optimization of porogen-based PECVD deposited extreme low-k materials as a function of UV-cure time
 
 
Titel: Characterization and optimization of porogen-based PECVD deposited extreme low-k materials as a function of UV-cure time
Auteur: Verdonck, Patrick
De Roest, David
Kaneko, Shinya
Caluwaerts, Rudy
Tsuji, Naoto
Matsushita, Kiyohiro
Kemeling, Nathan
Travaly, Youssef
Sprey, Hessel
Schaekers, Marc
Beyer, Gerald
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 201 (2007) nr. 22-23 pagina's 5 p.
Jaar: 2007
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 15 van 122 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland