|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 122 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization and optimization of porogen-based PECVD deposited extreme low-k materials as a function of UV-cure time |
| Auteur: |
Verdonck, Patrick De Roest, David Kaneko, Shinya Caluwaerts, Rudy Tsuji, Naoto Matsushita, Kiyohiro Kemeling, Nathan Travaly, Youssef Sprey, Hessel Schaekers, Marc Beyer, Gerald |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 201 (2007) nr. 22-23 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 122 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |