|
Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properties of pulsed laser deposited silicon nitride thin films |
|
|
|
Titel: |
Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properties of pulsed laser deposited silicon nitride thin films |
Auteur: |
Lackner, J.M. Waldhauser, W. Berghauser, R. Ebner, R. Beutl, M. Jakopic, G. Leising, G. Hutter, H. Rosner, M. Schöberl, T. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 192 (2005) nr. 2-3 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|