|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 62 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization of low-dielectric-constant SiOC thin films deposited by PECVD for interlayer dielectrics of multilevel interconnection |
| Auteur: |
Kim, Hyeong Joon Shao, Qingyi Kim, Yoon-Hae |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 171 (2003) nr. 1-3 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 62 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |