|
Plasma sources and characterization in the r.f. test facility |
|
|
|
Titel: |
Plasma sources and characterization in the r.f. test facility |
Auteur: |
Yang, J.G Kim, W.S Chung, Y.S Choi, J.H Yoon, N.S You, K.-I Choi, J.W Kim, B.C Kyum, M.C Na, H.K Hong, J Lee, G.S Hwang, S.M Huh, J.H Ryu, C.M Sim, J.H Son, D.C Hong, S.J |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 112 (1999) nr. 1-3 pagina's 4 p. |
Jaar: |
1999 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science S.A. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|