|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 32 van 73 gevonden artikelen
| Titel: |
Influence of N2 flow rate on the mechanical properties of SiN x films deposited by microwave electron cyclotron resonance magnetron sputtering |
| Auteur: |
Ding, Wanyu Xu, Jun Lu, Wenqi Deng, Xinlu Dong, Chuang |
| Verschenen in: |
Thin solid films |
| Paginering: | Jaargang 518 (2010) nr. 8 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 32 van 73 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |