|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 43 van 59 gevonden artikelen
| Titel: |
Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography |
| Auteur: |
Tsarfati, T. van de Kruijs, R.W.E. Zoethout, E. Louis, E. Bijkerk, F. |
| Verschenen in: |
Thin solid films |
| Paginering: | Jaargang 518 (2009) nr. 5 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 43 van 59 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |