|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 32 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of gas introduction position on substrate etching by means of Ar-dominated graphite-cathodic-arc plasma beam in μT-FAD |
| Auteur: |
Tanoue, Hideto Kamiya, Masao Oke, Shinichiro Suda, Yoshiyuki Takikawa, Hirofumi Hasegawa, Yushi Taki, Makoto Tsuji, Nobuhiro Ishikawa, Takeshi Yasui, Haruyuki Temmei, Shuji Takahashi, Hideo |
| Verschenen in: |
Thin solid films |
| Paginering: | Jaargang 518 (2010) nr. 13 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 32 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |