|
Microwave and hot filament chemical vapour deposition of diamond multilayers on Si and WC–Co substrates |
|
|
|
Titel: |
Microwave and hot filament chemical vapour deposition of diamond multilayers on Si and WC–Co substrates |
Auteur: |
Kadlečíková, M. Vojs, M. Breza, J. Veselý, M. Frgala, Z. Michalka, M. Matějková, J. Vojačková, A. Daniš, T. Marton, M. |
Verschenen in: |
Microelectronics journal |
Paginering: |
Jaargang 38 () nr. 1 pagina's 20-23 |
Jaar: |
2007 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|