|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Structural and mechanical characterization of in-situ phosphorus-doped rapid transport low pressure chemical vapor deposition polycrystalline silicon films |
| Auteur: |
Kallel, S. Semmache, B. Lemiti, M. Jaffrezic, H. Laugier, A. |
| Verschenen in: |
Microelectronics journal |
| Paginering: | Jaargang 30 () nr. 7 pagina's 699-703 |
| Jaar: |
1999 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |