|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 28 van 56 gevonden artikelen
| Titel: |
Influences of aluminum doping on the microstructures and electrical properties of tantalum nitride thin films before and after annealing |
| Auteur: |
Wang, Kao-Yuan Chang, Ting-Chang Chen, Wen-Chung Zhang, Yong-Ci Tseng, Yi-Ting Yang, Chih-Cheng Lin, Chun-Chu Wu, Pei-Yu Tan, Yung-Fang Tsai, Tsung-Ming |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 197 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 28 van 56 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |