|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 72 gevonden artikelen
| Titel: |
High-rate synthesis of SiCN films using single-source silicon precursor with high-density helicon plasma |
| Auteur: |
Ma, Xiao Mao, Zhibiao Xu, Dongsheng Ding, Yuqiang Xu, Chongying |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 177 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 72 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |