Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 15 van 24 gevonden artikelen
 
 
  On the electrical properties of ALD HfO2 dielectric films for MEMS capacitive switches
 
 
Titel: On the electrical properties of ALD HfO2 dielectric films for MEMS capacitive switches
Auteur: Theocharis, J.
Martins, J.P.
Mahjoub, A.
Eustache, E.
Ziaei, A.
Papaioannou, G.
Verschenen in: Microelectronics reliability
Paginering: Jaargang 169 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2025
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 15 van 24 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland