|
Investigating doping effects on high-κ metal gate stack for effective work function engineering |
|
|
|
Titel: |
Investigating doping effects on high-κ metal gate stack for effective work function engineering |
Auteur: |
Leroux, C. Baudot, S. Charbonnier, M. Van Der Geest, A. Caubet, P. Toffoli, A. Blaise, Ph. Ghibaudo, G. Martin, F. Reimbold, G. |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 88 (2013) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|