|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
MEMS on cavity-SOI wafers |
| Auteur: |
Luoto, Hannu Henttinen, Kimmo Suni, Tommi Dekker, James Mäkinen, Jari Torkkeli, Altti |
| Verschenen in: |
Solid-state electronics |
| Paginering: | Jaargang 51 (2007) nr. 2 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |