|
Investigation of thermal atomic layer deposited TiAlX (X=N or C) film as metal gate |
|
|
|
Titel: |
Investigation of thermal atomic layer deposited TiAlX (X=N or C) film as metal gate |
Auteur: |
Xiang, Jinjuan Zhang, Yanbo Li, Tingting Wang, Xiaolei Gao, Jianfeng Yin, Huaxiang Li, Junfeng Wang, Wenwu Ding, Yuqiang Xu, Chongying Zhao, Chao |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 122 (2016) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2016 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|