|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
Deposition of ultrafine particles on semiconductors for use as dry etching masks: Numerical calculation and experimental verification |
| Auteur: |
Stratmann, F. Wiedensohler, A. Maximov, I. Samuelson, L. Hansson, H.C. Fissan, H.J. |
| Verschenen in: |
Journal of aerosol science |
| Paginering: | Jaargang 24 (1993) nr. 5 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1993 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 15 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |