|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 21 van 57 gevonden artikelen
| Titel: |
Electroless Cu deposition on atomic layer deposited Ru as novel seed formation process in through-Si vias |
| Auteur: |
Inoue, Fumihiro Philipsen, Harold Radisic, Aleksandar Armini, Silvia Civale, Yann Leunissen, Peter Kondo, Muneharu Webb, Eric Shingubara, Shoso |
| Verschenen in: |
Electrochimica acta |
| Paginering: | Jaargang 100 (2013) nr. C pagina's 9 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 21 van 57 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |