|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
Deposition of barium strontium titanate and strontium titanate via Liquid Source Chemical Vapor Deposition |
| Auteur: |
McMillan, Larry D. |
| Verschenen in: |
Integrated ferroelectrics |
| Paginering: | Jaargang 5 (1994) nr. 2 pagina's 97-102 |
| Jaar: |
1994-10-01 |
| Inhoud: |
Liquid Source Chemical Vapor Deposition (LSCVD) involves the use of sub-saturated aerosols of specially designed metallorganic precursors suitable for multicomponent oxide deposition in vacuum at room temperature. Materials of interest for ULSI DRAMs, such as Ba(1-x)SrxTiO3 and SrTiO3 show uniform deposition with microstructures optimized for step-coverage and small capacitor geometries. Electrical characteristics indicate capacitance densities of around 25-30 fF/um2 and leakages in the order of 10-8 A/um2. A review of these results and the LSCVD technique will be presented. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |