|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 49 van 68 gevonden artikelen
| Titel: |
Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS–NEMS wet etching process |
| Auteur: |
Herth, E. Algré, E. Legrand, B. Buchaillot, L. |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 88 (2011) nr. 5 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 49 van 68 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |