|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 68 van 187 gevonden artikelen
| Titel: |
Experiment-based estimation of point spread function in electron-beam lithography: Forward-scattering part |
| Auteur: |
Dai, Q. Lee, S.-Y. Lee, S.-H. Kim, B.-G. Cho, H.-K. |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 88 (2011) nr. 10 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 68 van 187 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |