|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 28 van 187 gevonden artikelen
| Titel: |
Chemical bonds in damaged and pristine low-κ materials: A comparative EELS study |
| Auteur: |
Stegmann, Heiko Özdöl, V. Burak Koch, Christoph van Aken, Peter A. Engelmann, Hans-Jürgen Potapov, Pavel Zschech, Ehrenfried |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 85 (2008) nr. 10 pagina's 3 p. |
| Jaar: |
2008 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 28 van 187 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |