|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 187 gevonden artikelen
| Titel: |
An efficient wet-cleaning of SiGe virtual substrates and of thick, pure Ge layers on Si(001) after a chemical mechanical planarization step |
| Auteur: |
Abbadie, A. Hartmann, J.M. Nardo, C. Di Billon, T. Campidelli, Y. Besson, P. |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 83 (2006) nr. 10 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 187 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |