|
X-ray reflectivity studies on DLC films deposited by microwave ECR CVD: Effect of substrate bias |
|
|
|
Titel: |
X-ray reflectivity studies on DLC films deposited by microwave ECR CVD: Effect of substrate bias |
Auteur: |
Singh, S.B. Poswal, A.K. Pandey, M. Tokas, R.B. Chand, N. Dhara, S. Sundaravel, B. Nair, K.G.M. Sahoo, N.K. Patil, D.S. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 203 (2009) nr. 8 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2009 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|