|
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
4 gevonden resultaten
| nr | titel | auteur | tijdschrift | jaar | jaarg. | afl. | pagina('s) | type |
| 1 | Novel “Topography-Sensitive” Bottom-Up Growth of Ruthenium and Copper for Filling Nano-Features Using Supercritical Co2 Fluids: Beyond Scalability |
Kondoh, E. |
|
992 | 1 |
artikel |
||
| 2 | Novel vapor phase method for making ultra thin conformal films of polytetrafluoroethylene (PTFE) |
Gupta, Sushant |
|
992 | 1 |
artikel |
||
| 3 | Supercritical Fluid Deposition of Ruthenium Thin Films: A Kinetic Study |
Karanikas, Christos F. |
|
992 | 1 |
artikel |
||
| 4 | Ultra Thin Cu film Fabrication by Supercritical Fluid Deposition for ULSI Metallization |
Momose, Takeshi |
|
992 | 1 |
artikel |
4 gevonden resultaten