|
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
5 gevonden resultaten
| nr | titel | auteur | tijdschrift | jaar | jaarg. | afl. | pagina('s) | type |
| 1 | Analytical modeling and optimization for a laterally-driven polysilicon thermal actuator |
Huang, Q.-A. |
1999 |
5 | 3 |
p. 133-137 |
artikel |
|
| 2 | Fabrication of nanomechanical optical devices with aligned wafer bonding |
Gui, C. |
1999 |
5 | 3 |
p. 138-143 |
artikel |
|
| 3 | High-speed visualization, a powerful diagnostic tool for microactuators – retrospect and prospect |
Krehl, P. |
1999 |
5 | 3 |
p. 113-132 |
artikel |
|
| 4 | Low-temperature anodic bonding of silicon to silicon wafers by means of intermediate glass layers |
Gerlach, A. |
1999 |
5 | 3 |
p. 144-149 |
artikel |
|
| 5 | Materials of LIGA technology |
Ehrfeld, W. |
1999 |
5 | 3 |
p. 105-112 |
artikel |
5 gevonden resultaten