|
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
3 gevonden resultaten
| nr | titel | auteur | tijdschrift | jaar | jaarg. | afl. | pagina('s) | type |
| 1 | Corrigendum to “Understanding dose correction for high-resolution 50 kV electron-beam lithography on thick resist layers” [Micro and Nano Engineering Volume 16, August 2022, 100141] |
Åstrand, Mattias |
|
26 | C |
p. |
artikel |
|
| 2 | Rapid prototyping of 3D microstructures: A simplified grayscale lithography encoding method using blender |
Borghi, Fabrício Frizera |
|
26 | C |
p. |
artikel |
|
| 3 | Regional proximity effect correction for replicating 28 nm lines/spaces in HSQ as dielectric diffraction gratings with high aspect ratio |
Wu, Qingxin |
|
26 | C |
p. |
artikel |
3 gevonden resultaten