Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
Zoeken naar met titel:
ABCDEFGHIJKLMNOPQRSTUVWXYZ

     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
                                       Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
 
                             10 gevonden resultaten
nr titel auteur tijdschrift jaar jaarg. afl. pagina('s) type
1 An air-flow based wafer bake system for improved temperature uniformity Wang, Lan
 2008
 18 10 p. 931-936
6 p.
 artikel
2 A 3-tier cooperative control architecture for multi-step semiconductor manufacturing process Mao, Ziqiang
 2008
 18 10 p. 954-960
7 p.
 artikel
3 Critical dimension and real-time temperature control for warped wafers Ho, Weng Khuen
 2008
 18 10 p. 916-921
6 p.
 artikel
4 Design for manufacturing meets advanced process control: A survey Pan, David Z.
 2008
 18 10 p. 975-984
10 p.
 artikel
5 Editorial Qin, S. Joe
 2008
 18 10 p. 915-
1 p.
 artikel
6 Editorial Board 2008
 18 10 p. IFC-
1 p.
 artikel
7 One step forward from run-to-run critical dimension control: Across-wafer level critical dimension control through lithography and etch process Zhang, Qiaolin
 2008
 18 10 p. 937-945
9 p.
 artikel
8 Scheduling semiconductor manufacturing processes to enhance system identification Pasadyn, Alexander J.
 2008
 18 10 p. 946-953
8 p.
 artikel
9 The Nearest Uniformity Producing Profile (NUPP) optimization criterion for thin-film processing applications Adomaitis, Raymond A.
 2008
 18 10 p. 922-930
9 p.
 artikel
10 Virtual metrology and feedback control for semiconductor manufacturing processes using recursive partial least squares Khan, Aftab A.
 2008
 18 10 p. 961-974
14 p.
 artikel
                             10 gevonden resultaten
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland