|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 36 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
The effect of BCl3 pretreatment on the etching of AlN in Cl2-based plasma |
| Auteur: |
Xu, X. Kuryatkov, V. Borisov, B. Pandikunta, M. Nikishin, S. A. Holtz, M. |
| Verschenen in: |
MRS proceedings |
| Paginering: | Jaargang 1108 () nr. 1 pagina's xx |
| Jaar: |
2009-02-03 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer International Publishing, Cham |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 36 van 36 gevonden artikelen
| << vorige |