|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 84 gevonden artikelen
| Titel: |
Closed-Loop Control of an XYZ Micro-Stage and Designing of Mechanical Structure for Reduction in Motion Errors |
| Auteur: |
Matsukuma, Hiraku Adachi, Keisuke Sugawara, Takuma Shimizu, Yuki Gao, Wei Niwa, Eiji Sasaki, Yoshihiro |
| Verschenen in: |
Nanomanufacturing and metrology |
| Paginering: | Jaargang 4 () nr. 1 pagina's 53-66 |
| Jaar: |
2021-01-21 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Nature Singapore, Singapore |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 84 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |