|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
Spectroscopic Analysis of Film Stress Mechanism in PECVD Silicon Nitride |
| Auteur: |
Jang, Bo Eun Hong, Sang Jeen |
| Verschenen in: |
Transactions on electrical and electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 19 (2018) nr. 1 pagina's 1-6 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (KIEEME), Seoul |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 11 gevonden artikelen
| << vorige |