|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 8 gevonden artikelen
| Titel: |
The components of M.O.S. oxide charge and their dependence upon the oxidation process†|
| Auteur: |
Laverty, S. J. Ryan, W. D. |
| Verschenen in: |
International journal of electronics |
| Paginering: | Jaargang 26 (1969) nr. 4 pagina's 369-376 |
| Jaar: |
1969-04-01 |
| Inhoud: |
Surface state charge Qss associated with the silicon/silicon dioxide interface is shown to consist of three distinct component charges : mobile charge, fixed charge and interface state charge. The dependence, of the density of these charges, upon oxidation temperature, oxygen pressure and oxide thickness is reported. The results indicate that mobile charges are extrinsic to the oxide, while fixed charges and interface state charge are intrinsic to the oxide. Interface state charge is shown to consist of two distinct components, one of which is associated with the fixed charge density |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 8 gevonden artikelen
| << vorige |