|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 38 gevonden artikelen
| Titel: |
Dielectric and Electrical Characteristics of the Barium Strontium Titanate Zirconium Thin Film by RF Sputtering |
| Auteur: |
Chen, Kai-Huang Tsai, Yu-Zen Chen, Ying-Chung Wang, Chia-Jung |
| Verschenen in: |
Integrated ferroelectrics |
| Paginering: | Jaargang 61 (2004) nr. 1 pagina's 129-132 |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: |
Thin films of (Ba0.7Sr0.3)(Ti0.9Zr0.1)O3 (BSTZ) have been successfully deposited on Pt/SiO2/Si substrate under various RF sputtering conditions, and their dielectric and electrical characteristics have been investigated. From the SEM images, the growth rate of the BSTZ film were found to be about 11∼15 nm/min. Additionally, it also reveals that the dielectric constant of the BSTZ film was about 180 and the leakage current density was about 10-8 A/cm2 under the electrical field of 0.1 MV/cm. Besides, the dielectric constants of the BSTZ film have less change within the measurement ranges of temperature and frequency. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 38 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |