|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 21 van 28 gevonden artikelen
| Titel: |
PZT MEMS for an Extremely Sensitive Magnetometer |
| Auteur: |
Zakar, Eugene Polcawich, Ronald Dubey, Madan Pulskamp, Jeff Wickenden, Alma Conrad, John Piekarz, Richard Wickenden, Dennis Champion, John |
| Verschenen in: |
Integrated ferroelectrics |
| Paginering: | Jaargang 54 (2003) nr. 1 pagina's 697-706 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: |
The application of a Pt/PZT/Pt sandwich structure in place of a polysilicon material for a xylophone magnetometer bar can greatly improve the sensitivity of the device. This is the first time a piezoelectric activation has been used to resonate a xylophone bar comprised of SiO2/Ta/Pt/PZT/Pt. Both optical beam and scanning laser Doppler vibrometer methods were used for characterizing the bar deflection. A fabrication process for freely suspended xylophone magnetometer bars is presented. When the device was placed in a vacuum ambient the Quality factor improved to a value of 1800. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 21 van 28 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |