|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Crystallization behavior of alkoxy- derived SrBi2Ta2O9 thin films on Pt-passivated Si |
| Auteur: |
Kato, Kazumi |
| Verschenen in: |
Integrated ferroelectrics |
| Paginering: | Jaargang 26 (1999) nr. 1-4 pagina's 243-251 |
| Jaar: |
1999-10-01 |
| Inhoud: |
Initiation of the crystallization of the triple-alkoxy-derived gel films to SrBi2Ta2O9 (SBT) perovskite thin films on Pt-passivated Si was addressed. The organic functional group of the triple alkoxide may determine the degree of the hydrolysis and poly-condensation reactions and affect the nucleation sites in the film after annealing. A mixture of water vapor and oxygen flow during the calcination at 250°C promoted the nucleation and growth of SBT below 500°C. It was clarified that the crystallographic orientaion of the SBT thin films has been determined in the primary stage of the crystallization. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 31 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |