|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Ferroelectric properties of PLZT thin films prepared using ULVAC ZX-1000 sputtering system |
| Auteur: |
Chu, F. Hickert, G. Hadnagy, T. D. Suu, K. K. |
| Verschenen in: |
Integrated ferroelectrics |
| Paginering: | Jaargang 26 (1999) nr. 1-4 pagina's 47-55 |
| Jaar: |
1999-10-01 |
| Inhoud: |
Thin films of Ca and Sr doped PLZT(3/40/60) were RF sputtered on 6-inch substrates using ULVAC CERAUS ZX-1000 magnetron sputtering system. The 2000 Å PLZT films showed good thickness uniformity across the wafer (less than ± 1.5%). The crystallized PLZT films are highly {111} textured. The 3V QSW is above 30 μC/cm2 and V90% is below 3.5V. After 109 fatigue cycles, 3V Qsw is still 29 μC/cm2. The films also showed good retention properties. 3V Qss(10year) = 12 μC/cm2, 3V QOS(10year) = 9 μC/cm2. The same process was utilized to run 1000 wafers on ZX-1000. The stable ferroelectric performance achieved during 100 kWh sputtering indicates good repeatability of the ZX-1000 mass production tool. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 31 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |