|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 7 gevonden artikelen
| Titel: |
Single-mode SiON/SiO2/Si optical waveguides prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition |
| Auteur: |
Tu, Yuan-Kuang Chou, Jung-Chuan Cheng, Shiang-Ping |
| Verschenen in: |
Fiber & integrated optics |
| Paginering: | Jaargang 14 (1995) nr. 2 pagina's 133-139 |
| Jaar: |
1995 |
| Inhoud: |
We present the characteristics of low-propagation-loss single-mode SiON / SiO2 / Si planar optical waveguides using plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Using a thermal annealing process and a thick silicon dioxide buffer layer, we get an improvement on the propagation loss by the amounts of 1.24 dB /cm and 1.1 dB /cm, respectively. Optical waveguides with propagation loss lower than 0.3 dB /cm can be achieved. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 7 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |