|
Synchrotron-radiation X-ray topography of surface strain in large-diameter silicon wafers |
|
|
|
Titel: |
Synchrotron-radiation X-ray topography of surface strain in large-diameter silicon wafers |
Auteur: |
Kawado, S. Iida, S. Yamaguchi, S. Kimura, S. Hirose, Y. Kajiwara, K. Chikaura, Y. Umeno, M. |
Verschenen in: |
Journal of synchrotron radiation |
Paginering: |
Jaargang 9 (2002) nr. 3 pagina's 166-168 |
Jaar: |
2002-05-01 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
International Union of Crystallography, 5 Abbey Square, Chester, Cheshire CH1 2HU, England |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|