|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 39 gevonden artikelen
| Titel: |
Deep X-ray lithography system with a uniform and high-accuracy fabrication area established in beamline BL11 at NewSUBARU |
| Auteur: |
Takeuchi, Masaya Yamaguchi, Akinobu Utsumi, Yuichi |
| Verschenen in: |
Journal of synchrotron radiation |
| Paginering: | Jaargang 26 (2019) nr. 2 pagina's 528-534 |
| Jaar: |
2019-03-01 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
International Union of Crystallography, 5 Abbey Square, Chester, Cheshire CH1 2HU, England |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 39 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |