|
In Situ Detection of Surface SiHn in Synchrotron-Radiation-Induced Chemical Vapor Deposition of a-Si on an SiO2 Substrate |
|
|
|
Titel: |
In Situ Detection of Surface SiHn in Synchrotron-Radiation-Induced Chemical Vapor Deposition of a-Si on an SiO2 Substrate |
Auteur: |
Yoshigoe, A. Nagasono, M. Mase, K. Urisu, T. Seki, S. Nakagawa, Y. |
Verschenen in: |
Journal of synchrotron radiation |
Paginering: |
Jaargang 2 (1995) nr. 4 pagina's 196-200 |
Jaar: |
1995-07-01 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
International Union of Crystallography, 5 Abbey Square, Chester, Cheshire CH1 2HU, England |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|