|
X-ray bright-field imaging analyzes crystalline quality and defects of SiC wafers |
|
|
|
Titel: |
X-ray bright-field imaging analyzes crystalline quality and defects of SiC wafers |
Auteur: |
Yi, J. M. Chu, Y. S. Zhong, Y. Je, J. H. Hwu, Y. Margaritondo, G. |
Verschenen in: |
Journal of applied crystallography |
Paginering: |
Jaargang 40 (2007) nr. 2 pagina's 376-378 |
Jaar: |
2007-04-01 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
International Union of Crystallography, 5 Abbey Square, Chester, Cheshire CH1 2HU, England |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|