|
Grazing incidence small-angle X-ray scattering study of defects in deuterium implanted monocrystalline silicon |
|
|
|
Titel: |
Grazing incidence small-angle X-ray scattering study of defects in deuterium implanted monocrystalline silicon |
Auteur: |
Dubček, P. Pivac, B. Bernstorff, S. Corni, F. Tonini, R. Ottaviani, G. |
Verschenen in: |
Journal of applied crystallography |
Paginering: |
Jaargang 36 (2003) nr. 3-1 pagina's 447-449 |
Jaar: |
2003-06-01 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
International Union of Crystallography, 5 Abbey Square, Chester, Cheshire CH1 2HU, England |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|