|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 8 gevonden artikelen
| Titel: |
Scratch-concerned yield modeling for IC manufacturing involved with a chemical mechanical polishing process |
| Auteur: |
Zhu, Jiao-jiao Luo, Xiao-hua Chen, Li-sheng Ye, Yi Yan, Xiao-lang |
| Verschenen in: |
Journal of Zhejiang University, Science C, Computers & electronics |
| Paginering: | Jaargang 13 (2012) nr. 5 pagina's 376-384 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
SP Zhejiang University Press, Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 8 gevonden artikelen
| << vorige |