|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 32 gevonden artikelen
| Titel: |
CF4 doping effects on SiOF thin films: chemical, structural and dielectric properties in PECVD-deposited films from HMDSO/O2 vapor mixtures |
| Auteur: |
Chabane, R. Sahli, S. Raynaud, P. |
| Verschenen in: |
European physical journal. B, Condensed matter and complex systems |
| Paginering: | Jaargang 98 () nr. 5 pagina's xx |
| Jaar: |
2025-05-31 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 32 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |