Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
   volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 1 van 38 gevonden artikelen
 
 
  A Low-Temperature SiO2 Interfacial Layer Preparation using Rapid Thermal Oxidation Process for GAA Nanosheet Based I/O Transistor
 
 
Titel: A Low-Temperature SiO2 Interfacial Layer Preparation using Rapid Thermal Oxidation Process for GAA Nanosheet Based I/O Transistor
Auteur: Luo, Huaizhi
Li, Yan
Zhao, Fei
Zhang, Xi
Wang, Shengkai
Xiong, Wenjun
Mao, Xiaotong
Li, Yongliang
Verschenen in: SILICON
Paginering: Jaargang 16 () nr. 4 pagina's 1619-1625
Jaar: 2023-11-29
Inhoud:
Uitgever: Springer Netherlands, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 1 van 38 gevonden artikelen
 
   volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland