|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 26 van 38 gevonden artikelen
| Titel: |
Particles Manipulation to Improve Removal Efficiency of Fused Silica in Chemical Mechanical Polishing |
| Auteur: |
Chen, Gaopan Luo, Haimei Zhou, Yan Pan, Liyan Luo, Guihai Pan, Guoshun |
| Verschenen in: |
SILICON |
| Paginering: | Jaargang 15 () nr. 16 pagina's 6997-7004 |
| Jaar: |
2023-06-20 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Netherlands, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 26 van 38 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |