|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 60 gevonden artikelen
| Titel: |
Deep Dry Etching of Silicon with Scallop Size Uniformly Larger than 300 nm |
| Auteur: |
Lin, Yuanwei Yuan, Renzhi Zhang, Xinshuai Chen, Zhenpeng Zhang, Haimiao Su, Ziduo Guo, Shengjun Wang, Xiaoxin Wang, Chun |
| Verschenen in: |
SILICON |
| Paginering: | Jaargang 11 (2018) nr. 2 pagina's 651-658 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Netherlands, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 60 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |