|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of mixing ratio of non-spherical particles in colloidal silica slurry on oxide CMP |
| Auteur: |
Lee, Hojun Lee, Dasol Kim, Moonsung Jeong, Haedo |
| Verschenen in: |
International journal of precision engineering and manufacturing |
| Paginering: | Jaargang 18 (2017) nr. 10 pagina's 1333-1338 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Society for Precision Engineering, Seoul |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 21 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |