|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
Accurate measurement of atomic chlorine radical density in process plasma with spatially resolvable optical emission spectrometer |
| Auteur: |
Oh, Changhoon Kang, Minwook Hahn, Jae Won |
| Verschenen in: |
International journal of precision engineering and manufacturing |
| Paginering: | Jaargang 16 (2015) nr. 9 pagina's 1919-1924 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Society for Precision Engineering, Seoul |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 21 gevonden artikelen
| volgende >> |